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可定制氣體軸承線性位移臺

大行程，高重復(fù)精度氣體軸承位移臺！

所屬類別：光機產(chǎn)品/精密定位控制系統(tǒng) » 電動平移臺

可定制氣體軸承線性位移臺

LT系列位移平臺采用經(jīng)過特殊設(shè)計的空氣軸承，該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進行了優(yōu)化。與傳統(tǒng)的軸承相比，采用氣體為潤滑劑，因此所有運動都是無接觸的，因此在整個使用壽命之內(nèi)，設(shè)備的性能保持不變，并且無需進行特殊維護。此外位移平臺采用直線電機直接驅(qū)動，無須螺桿或齒輪進行傳動實現(xiàn)了非常平滑的無干擾的高精度的運動。通過使用天然大理石為平移臺移動的桌面，可以實現(xiàn)非常高的重復(fù)定位精度。從而使位移平臺擁有極低的俯仰、偏擺、滾動、偏航和線性誤差。

上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的空氣軸承位移平臺可提供從200mm-1500mm不同行程的平臺,在可提供大行程的同時，精度可達到300nm，平移臺擁有優(yōu)異的分辨率，重復(fù)精度可達到100nm。

此外提供高精度的復(fù)雜運動和定位方案：

提供不同應(yīng)用中需要的定位平臺、控制器和相關(guān)軟件

Ø整體解決方案

Ø定制化解決方案

Ø復(fù)雜的多軸與并聯(lián)運動系統(tǒng)

Ø超精密空氣與機械軸承

Ø軟件集成：: LABVIEW, Tango, Epics……

產(chǎn)品特點：

l 優(yōu)異的重復(fù)精度

l 超大行程

l 采用空氣軸承，無需維護

l 可按客戶要求進行定制

主要應(yīng)用

l 高性能掃描

l 光學(xué)檢測系統(tǒng)

l 超精密研磨和切削

l 光伏系統(tǒng)

l 醫(yī)療系統(tǒng)

l 同步輻射或X射線

l 激光加工

l 半導(dǎo)體行業(yè)

l 晶體處理

產(chǎn)品參數(shù)：

	Units	LS100	LS200	LS300	LS400	LS500	LS1000	LS1500
travel	mm	100	200	300	400	500	1000	1500
load capacity	kg	>65	>65	>65	>65	>65	>65	>65
accuracy	μm	±0.3	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±1.0	±1.0
repeatability	μm	±0.1	±0.15	±0.15	±0.2	±0.2	±0.4	±0.4
flatness	μm	±0.2	±0.4	±0.5	±1	±1.5	±3	±5
pitch	μrad	±4	±8	±12	±13	±14	±29	±39
roll	μrad	±4	±8	±12	±13	±14	±29	±39
yaw	μrad	±4	±8	±12	±13	±14	±29	±39

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可定制氣體軸承線性位移臺

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