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顯微式激光測振儀

意大利Julight顯微式激光測振儀是一款結(jié)合激光測振傳感器和數(shù)字顯微鏡的一體化測量系統(tǒng)。激光測振儀被附在顯微鏡的特殊調(diào)節(jié)架上，邊通濾波鏡主要用以紅外激光和可見激光的反射，然后分別聚焦到測試目標(biāo)上。濾波鏡能夠傳遞 20%從測試表面上散射回來的光，并且在 cmos 攝像機(jī)的傳感器上聚焦。為了能對中方便，顯微鏡裝在一個(gè)俯仰、傾斜和旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)上。顯微鏡激光測振儀測量測試表面的法向分量的振動(dòng)。

顯微式激光測振儀主要用于芯片/電力半導(dǎo)體器件/半導(dǎo)體薄膜/MEMS的零部件/電子器件和供電內(nèi)部連接件/MEMS 加速度傳感器模子的振動(dòng)模態(tài)及結(jié)構(gòu)優(yōu)化。如：硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS 激光加工、晶片測試、半導(dǎo)體材料、線束加工蝕刻、液晶電池蓋、導(dǎo)線框架等產(chǎn)品的檢測觀察。

顯微式激光測振儀產(chǎn)品參數(shù)

顯微式激光測振儀產(chǎn)品特點(diǎn)

■ 頻帶寬蕞高可達(dá)35 MHz	■ 單點(diǎn)/二維/三維可選
■ 位移分辨率 10 pm	■ 光斑大小< 4um
■ 蕞大速度 ±40 m/s @3MHz	■ 精度 1%

顯微式激光測振儀實(shí)驗(yàn)場景

顯微式激光測振儀應(yīng)用

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上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商，產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測量設(shè)備、光學(xué)元件等，涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究、國防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝，培訓(xùn)，硬件開發(fā)，軟件開發(fā)，系統(tǒng)集成等服務(wù)。

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顯微式激光測振儀

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