| 品牌 | 昊量光電 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源（ALE/2系列，12英寸晶圓）
--- 適用于12英寸大型基板曝光
ALE/2 系列UV-LED曝光光源是一款大功率的曝光光源，高達(dá)70W的i線(365nm)曝光,高達(dá)80W的寬帶曝光（350-450nm）,適用于均勻度較高以及準(zhǔn)直性能高的大型基板曝光工具（比如12英寸，8英寸），目前已廣泛試用在掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，步進(jìn)系統(tǒng)(封裝）,準(zhǔn)直曝光系統(tǒng)及大功率輻射要求的固化系統(tǒng)，ALE/2系列UV-LED曝光光源已成為半導(dǎo)體光刻制造及檢測(cè)領(lǐng)域中的一個(gè)理想工具。
ALE/2系列UV-LED曝光光源是一款高性能紫外點(diǎn)光源，適用于需要均勻和準(zhǔn)直輻射的大型基材工業(yè)泛光曝光工具。這些可能是8″（200毫米）或12″（300毫米）掩模對(duì)準(zhǔn)器。它的紫外線輸出足夠強(qiáng)大，可以為更大的裝置提供動(dòng)力，正方形曝光面積可達(dá)400 X 400毫米，在某些情況下，甚至超過(guò)這個(gè)范圍。ALE/2采用UV-LED技術(shù)，具有優(yōu)異的輸出穩(wěn)定性和靈活的光譜控制，優(yōu)于傳統(tǒng)的高壓汞放電燈。此外，它還消耗更少的電力，產(chǎn)生更少的熱量，持續(xù)時(shí)間更長(zhǎng)，并且不需要太多的整體維護(hù)。
ALE/2系列UV-LED曝光光源可以在光路中組合四個(gè)反饋控制的高功率UV-LED?？商峁﹊線（CWL 365 nm）和寬帶（CWL 365 / 405 / 436 nm）配置。在純i線工藝中，ALE/2 系列UV-LED曝光光源的性能可媲美額定功率高達(dá)5,000 W的傳統(tǒng)放電汞燈光源。對(duì)于寬帶模式，ALE/2系列UV-LED曝光光源的照明功率也可與2,000 W放汞燈光源相媲美。
ALE/2系列UV-LED曝光光源遵循分布式設(shè)計(jì)方法，通常由一個(gè)控制子系統(tǒng)（CSS）+一個(gè)單獨(dú)的曝光子系統(tǒng)（ESS）組成。ESS 的標(biāo)準(zhǔn)光出口是一個(gè) 16 mm X 16 mm 的光管 ，光引擎可以與標(biāo)準(zhǔn)和定制的聚光光學(xué)元件結(jié)合使用，以實(shí)現(xiàn)高度均勻的曝光。
70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源（ALE/2系列，12英寸晶圓）應(yīng)用場(chǎng)景：
| 半導(dǎo)體光刻制造（12英寸大基板） | 光固化應(yīng)用和其他 |
| 掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) | 大面積光固化（400mm） |
| 步進(jìn)系統(tǒng)（封裝） | 高輻射劑量固化應(yīng)用 |
| 準(zhǔn)直曝光系統(tǒng) | 紫外成像 |
| 晶圓光刻曝光 | |
| 晶圓缺陷檢測(cè) |
ALE/2系列- 70W大功率-UV-LED曝光光源主要特點(diǎn)：
內(nèi)置解決方案可實(shí)現(xiàn)更高曝光效率和性能；
高達(dá)70W的純i線曝光（365nm）;
高達(dá)80W的寬帶模式曝光（350-450nm）;
閉環(huán)光控制輸出；
無(wú)汞，綠色光源；
無(wú)需外部冷卻，更節(jié)能；
ALE/2系列 -70W大功率-UV-LED曝光光源性能展示：
ALE/2系列大功率UV-LED曝光光源規(guī)格參數(shù)：
| 發(fā)光單元選項(xiàng) | 多大4個(gè)波長(zhǎng)，如365nm, 385nm，405nm,435nm |
| 輸出功率 | up to 80W@寬帶， up to 70W@i線-365nm |
| 數(shù)值孔徑 | NA 0.3(2a ~35°) 配合標(biāo)準(zhǔn)聚光鏡 （condenser） |
| 控制配置 | 1、獨(dú)立的LED電源管理和預(yù)設(shè)； 2、高分辨率強(qiáng)度調(diào)整（10%-100%）； 3、LED上升時(shí)間<1ms； 4、持續(xù)監(jiān)控光輸出和反饋控制； |
| 通訊接口 | 1、離散PLC接口（TTL）； 2、USB(串行)； 3、以太網(wǎng)/MOdbuS TCP/IP （可選）； |
| 熱管理 | 1、帶內(nèi)部散熱器的液體冷卻（Standard mode）； 2、外部冷卻器（可選項(xiàng)），（performance mode ）; |
| 尺寸（W H D） | ESS 21 x 21 x 36cm ； CSS 44 x18 x 37cm ; |
| 重量 | ESS 4Kg ; CSS 10Kg ; |
| 電源輸入 | 110-240V/ 50-60Hz / 1500W |
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